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东京电子推新型半导体荡涤机,可防芯片构造遭损坏

发布日期:2021-01-08 07:47   来源:未知   阅读:

日本大型半导体系造装备厂商东京电子发布,将于2021年1月发售荡涤机“CELLESTA SCD”,该产品带干燥功效,可进步最尖端半导体的成品率,内部一肖一马。通过增添应用“超临界流体”(基础不名义张力)的干燥工序,避免半导体上的微细构造被损坏。这款清洗机将用于“微细化”跟“多层化”的最尖端半导体制作,“微细化”是缩小电路线宽,因署名研报存在问题,中信建投武超则被北京证监局约谈,“多层化”是在高度方向上层叠电路。(新华社)